机译:采用多孔硅微加工技术的硅微探针卡
Department of Electronics, Kyungpook National University, Daegu, Korea;
silicon probe card; probe beam; porous silicon micromachining; contact resistance;
机译:使用多孔硅微加工技术的硅微探针卡
机译:使用多孔硅技术的正面体硅微加工
机译:使用多孔硅技术的正面体硅微加工
机译:用于垂直探针卡应用的硅微探针的制造
机译:硅微机械触觉成像仪,用于实时扫描指纹和信用卡应用。
机译:超越基于硅的技术的微机:新主编的来信
机译:硅微加工的新技术:用于实现低掺杂单晶硅结构的掺杂剂选择性HF阳极蚀刻
机译:基于多孔硅形成的硅微加工。