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机译:小于0.1 / spl mu / m栅极MOSFET的金属化超浅结器件技术
机译:1-poly-6-metal 0.18- / spl mu / m Si器件上的三维金属栅极高/ spl kappa / -GOI CMOSFET
机译:180nm金属栅极,高k介电,无注入III驴V MOSFET,跨导超过425 / spl mu / S // spl mu / m
机译:低于0.1 / spl mu / m MOSFET的源/漏扩展对外部电阻的影响很小
机译:带凹口的金属栅极MOSFET,可实现低于0.1 / splμ/ m的工作
机译:快速热CVD高k栅极电介质和CVD金属栅电极的技术开发和研究,用于未来的ULSI MOSFET器件集成:氧化锆和氧化ha。
机译:后栅极介电处理对超临界流体技术对锗基金属氧化物半导体器件的影响
机译:适用于0.1微米以下CMOS技术的高级栅极叠层