机译:使用带线圈阵列的CMOS芯片的电感微三轴触觉传感器
Natl Tsing Hua Univ Dept Power Mech Engn Hsinchu 30013 Taiwan|Natl Tsing Hua Univ Inst Nano Engn & MicroSyst Hsinchu 30013 Taiwan;
Natl Tsing Hua Univ Dept Power Mech Engn Hsinchu 30013 Taiwan|Natl Tsing Hua Univ Inst Nano Engn & MicroSyst Hsinchu 30013 Taiwan;
Tri-axial tactile sensor; CMOS; inductive sensing;
机译:使用带有线圈阵列的CMOS芯片的电感式微三轴触觉传感器
机译:使用CMOS传感芯片的倒装芯片键合的背面负载电感触觉力传感器的开发
机译:多孔硅体微加工的CMOS集成式触觉传感器阵列
机译:具有单片/垂直集成电感式接近传感器的CMOS-MEMS三轴压电电阻式触觉传感器
机译:用于片上系统设计的低噪声一维CMOS图像传感器阵列
机译:与CMOS芯片集成的大规模并行微线阵列用于神经记录
机译:大型平行的微观阵列与CMOS芯片集成,用于神经记录
机译:芯片上的微机械传感器系统:mEms与CmOs的集成及其应用