ホットオゾン水の実現でフォトレジスト膜を短時間で除去

摘要

オゾンの酸化力は極めて強く有機物も酸化・加水分解されて可溶性になり表面からエッチングされるように除去される。これがオゾン水によるフォトレジスト剥離のメカニズムだが、その反応速度の遅いことが難点だった。反応速度を上げるには温度を高めることが有効である。温度が高くなると一般に気体は溶解しにくくなり、また特にオゾンは自己分解速度も速くなるので溶存オゾン濃度は低下してしまう。この両立を実現したのがササクラのホットオゾン水で、その温度は50℃、濃度は150ppmまでで最適の条件に設定することができる。