机译:具有混合热和等离子体增强型ALD的超低密度,高κ门电介质
机译:具有混合热和等离子体增强ALD的超低密度高k栅极电介质
机译:ALD AL2O3栅极电介质对界面陷阱密度的降低和IGO TFT的增强光电性能
机译:ALD AL2O3栅极电介质对界面陷阱密度的降低和IGO TFT的增强光电性能
机译:低D
机译:对2D晶体等离子体增强原子层沉积高κ电介质的影响及生长
机译:ReS2上的高κ介电层:Al2O3的原位热与等离子体增强的原子层沉积
机译:Res2高κ电介质:原位热量与血浆增强的血浆增强原子层沉积Al2O3