机译:氩气稀释的硅烷PECVD在硅薄膜中的非晶-纳米晶转变
机译:PECVD氩稀释硅烷等离子体低温制备氢化硅
机译:等离子体条件变化下通过rf-PECVD硅烷-氩气混合物沉积的Si:H薄膜的性能
机译:使用氩气和氢稀释的硅烷制备具有高沉积速率的非晶硅膜,用于稳定太阳能电池
机译:PECVD技术沉积的氮气稀释的硅烷从A-Si:H到Si
机译:含硅化合物的化学和基于硅的微电子材料的分子方法。制备金属甲硅烷基络合物,研究亚烷基与硅烷之间的反应以及氧化钛薄膜的沉积。
机译:通过PECVD在镍金属化多孔硅上沉积的非晶硅薄膜的结晶
机译:使用硅烷和三甲基硼混合物在高压下通过RF-PECVD沉积的高导电性p型纳米晶硅膜