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陈维德; 陈长勇; 卞留芳;
中国科学院半导体研究所,北京100083;
中国科学院表面物理国家重点实验室,北京100080;
稀土; 离子注入; 纳米硅; 富硅氧化硅;
机译:磷掺入对非晶和纳米晶混合相硅薄膜中纳米晶聚集的影响
机译:含硅纳米晶的掺硼氢化碳化硅合金,用于高效纳米晶硅薄膜太阳能电池
机译:硅/非晶碳和硅/纳米晶钯/非晶碳界面的研究
机译:通过R.F的掺铒纳米晶硅薄膜的结构和光学研究。溅射
机译:混合相氢化非晶/纳米晶硅薄膜中的电子传输。
机译:由胶态硅纳米晶生产的硅纳米晶肖特基结太阳能电池
机译:通过Cat-CVD非晶和纳米晶硅薄膜对晶体硅进行表面钝化
机译:掺铒非晶氢化硅的室温光致发光
机译:利用AG纳米颗粒,由相同硅酸甘油酯构成的多晶硅纳米结构和包含多晶硅纳米晶的多晶硅薄膜电池制造多晶硅薄膜纳米结构的方法
机译:利用等离子体沉积技术连续沉积纳米晶硅薄膜和多层绝缘层,非易失性存储器件及其形成方法的纳米晶硅层
机译:利用单晶硅纳米晶模板制备多晶硅薄膜和多晶硅薄膜晶体管的方法
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