Plasmonic nanostructures fabricated using nanosphere-lithography, soft-lithography and plasma etching

Alfred Plettl; Fabian Enderle; Manuel R. Gon#231; alves; Othmar Marti; Paul Ziemann; Stefan Wiedemann; Taron Makaryan

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Plasmonic nanostructures fabricated using nanosphere-lithography, soft-lithography and plasma etching

机译：使用纳米球刻蚀，软刻蚀和等离子刻蚀制造的等离子纳米结构

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《Beilstein Journal of Nanotechnology》 |2011年第1期|共页
作者
Alfred Plettl; Fabian Enderle; Manuel R. Gon#231; alves; Othmar Marti; Paul Ziemann; Stefan Wiedemann; Taron Makaryan;
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