机译:采用DUV准分子激光光刻技术的高性价比SU-8微结构,可实现无标签生物传感
Centra Laser, Universidad Politecnica de Madrid, Campus Sur, 28031 Madrid, Spain;
Centra Laser, Universidad Politecnica de Madrid, Campus Sur, 28031 Madrid, Spain;
Centra Laser, Universidad Politecnica de Madrid, Campus Sur, 28031 Madrid, Spain;
Centra Laser, Universidad Politecnica de Madrid, Campus Sur, 28031 Madrid, Spain;
Institute de Sistemas Optoelectronicos y Microtecnologia, Universidad Politecnica de Madrid, £75/ de Telecomunicacion, Ciudad Universitaria s, 28040 Madrid, Spain;
Institute de Reconocimiente Molecular, Departamento de Quimica, Universidad Politecnica de Valencia, Camino de Vera s, 46022 Valencia, Spain;
Institute de Sistemas Optoelectronicos y Microtecnologia, Universidad Politecnica de Madrid, £75/ de Telecomunicacion, Ciudad Universitaria s, 28040 Madrid, Spain;
Centra Laser, Universidad Politecnica de Madrid, Campus Sur, 28031 Madrid, Spain;
Institute de Reconocimiente Molecular, Departamento de Quimica, Universidad Politecnica de Valencia, Camino de Vera s, 46022 Valencia, Spain;
Institute de Reconocimiente Molecular, Departamento de Quimica, Universidad Politecnica de Valencia, Camino de Vera s, 46022 Valencia, Spain;
Institute de Reconocimiente Molecular, Departamento de Quimica, Universidad Politecnica de Valencia, Camino de Vera s, 46022 Valencia, Spain;
microfabrication; su-8; photolithography; excimer laser; label-free biosensing;
机译:通过高长宽比SU-8纳米柱的周期性晶格实现无标记生物传感
机译:紫外线光学器件:氟化钙微光学器件可改善DUV准分子激光系统
机译:基于经济高效的流通纳米孔阵列的生物传感平台,用于实时无尿鼠疗法大肠杆菌检测
机译:用于DUV光刻的高功率193 nm准分子激光器
机译:精密准分子激光光刻技术,用于带有厚光刻胶的圆柱形基板。
机译:纳米压印光刻技术制备的金纳米孔阵列实时无标签表面等离子体共振生物传感。
机译:单个激光工作站上的微流控设备的微细加工工艺:在SU-8上直接书写光刻,在聚合物上进行激光烧蚀以及掩模制造
机译:湿法开发的双层抗蚀剂,用于193纳米准分子激光光刻