机译:通过水下激光退火结晶成多晶硅薄膜并同时灭活电缺陷
Graduate School of Materials Science, Nara Institute of Science and Technology, 8916-5 Takayama-cho, Ikoma, Nara 630-0192, Japan;
机译:通过水下激光退火结晶成多晶硅薄膜并同时灭活电缺陷
机译:水下激光退火对多晶硅薄膜晶体管的影响,该晶体管用于在超低温下钝化电缺陷
机译:固相和受激准分子激光退火结晶的多晶硅薄膜中的缺陷
机译:水下激光退火结晶成多晶硅膜及其在薄膜晶体管中的应用
机译:应用于薄膜晶体管的硅薄膜的脉冲激光退火。
机译:通过水下激光退火结晶成多晶硅薄膜并同时灭活电缺陷
机译:高性能N沟道多晶锗薄膜晶体管通过连续波激光结晶和绿色纳秒激光退火源和排水掺杂剂活化