electrochemical seismic sensor microfabrication negative feedback repeatability;
机译:基于MEMS和力平衡反馈系统的电化学低频地震微传感器
机译:基于MEMS和力平衡反馈系统的电化学低频地震微传感器
机译:基于MEMS的电化学角加速度计,具有用于地震运动监测的集成平面电极
机译:基于MEMS的电化学地震传感器的力平衡负反馈方法
机译:基于碳-MEMS的装置的体内神经递质波动的电化学检测。
机译:基于MEMS的电化学地震传感器的温度补偿
机译:基于mEms和力平衡反馈系统的电化学低频地震微传感器