基于MEMS加速度微传感器制作工艺及测试

摘要

介绍了基于MEMS技术的微型加速度传感器的原理、制作工艺、测试电路及测试结果.设计原理是把加速度变化转换为传感器的电容变化,制作上以硅-玻璃键合技术、玻璃和质量块的腐蚀工艺以及等离子刻蚀技术(ICP)为主要的工艺过程.传感器的测试采用方波为激励信号,采用CMOS电路来提高测量电容的灵敏度.结果表明,该传感器性能稳定、线性范围广、灵敏度高.