基于MEMS的三轴一体化电化学地震检波器

摘要

本发明公开了一种一种基于MEMS的三轴一体化电化学地震检波器，包括：外壳，为正六面体；橡胶膜，分别覆盖在所述外壳的各个表面，且分别与各面形成容纳空间；第一流道、第二流道、第三流道，为互相垂直且垂直贯穿所述外壳表面的流道；敏感电极，分别置于所述第一流道、第二流道和第三流道内；电解质溶液，分别充满于所述第一流道、第二流道和第三流道与各所述容纳空间形成的密封腔内。本发明采用了全新的结构设计，使其更精确保证了三个轴向间的正交性；并且不需要辅助结构，减小了检波器的体积和重量，同时可使得在相同体积的检波器中实现更长长度的流道，提升了检波器的低频性能。