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吴丽君; 夏慧; 陆彪;
北京有色金属研究总院;
铝合金薄膜; 溅射靶材; 集成电路; 电极布线材料;
机译:用于溅射靶材的喷涂铝合金
机译:新型透明电极溅射靶材的开发
机译:新型高折射率薄膜溅射靶材的研制
机译:钨钛溅射靶材加工对超大规模集成电路应用中颗粒生成和薄膜性能的影响
机译:减少集成电路的全局布线与详细布线之间的不匹配。
机译:用于溅射靶材的冷喷涂金属陶瓷Sn + In2O3涂层的微观检查勘误
机译:半导体集成电路中铝合金多层布线的研究
机译:光导电极沉积用于增材制造空间局部沉积控制与光电导反电极。
机译:半导体器件的电极/布线,半导体膜的电极膜/布线膜以及用于沉积铝合金薄膜的溅射靶
机译:半导体器件电极/布线,半导体器件膜/布线膜和形成铝薄膜的溅射靶材
机译:用于半导体器件电极的铝合金薄膜和用于形成半导体器件电极的铝合金薄膜的溅射靶
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