新規透明電極用スパッタリングターゲット材料の開発

摘要

我々は、タッチパネル用途として、新たな酸化インジウム系透明電極用ターゲット材料を開発した。このターゲット材料を用いて作製した薄膜は、現在用いられているITO膜と比較して、低温プロセスで低抵抗化が可能であり、その抵抗値は7～10インチサイズのタツチパネルに適用可能な100Ω/□を下回る電気抵抗を示した。さらに光学特性として、可視光領域においてITO膜と同等の高い透過率を示した。また、電気抵抗の耐久性についても現行のITO膜と同等であり、高い安定性を有している。