金刚石薄膜的形貌分析及(100)面择优生长

摘要

采用等离子体化学气相沉积制备金刚石薄膜，所制备的薄膜呈现不同的形貌。运用双层膜实现金刚石薄膜（100）面的择优生长。分析了金刚石粒子晶体习性的内部制约因素，指出了合成金刚石形态是其内部结构因素与外部环境综合作用的结果。