离子注入法深度剖面定标和注入层组份的定量AES分析

摘要

俄歇电子谱（AES）是进行薄膜和表面薄层化学成份微观分析的主要手段之一，提出了一种对离子注入样品进行深度剖面分析时的深度定标方法－离子注入深度定标法，用此方法计算的离子注入投影射程与LSS理论值一致，考虑了注入层中注入元素浓度梯度的存在，提出了修正浓度梯度和基体效应的方法，改善了深度剖面定量分析的精度。