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二氧化钒薄膜的结构、制备与应用

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摘要

综述了VO2薄膜的结构特点、相变、制备工艺特性,以及薄膜研究、应用和开发现状,认为VO2薄膜具有较好的开发前景.

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来源
《真空与低温》 |2001年第3期|136-138|共3页
作者
许旻; 邱家稳; 何延春; 李强勇; 赵印中; 王洁冰;
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作者单位

兰州物理研究所,甘肃,兰州,730000;

兰州物理研究所,甘肃,兰州,730000;

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兰州物理研究所,甘肃,兰州,730000;

兰州物理研究所,甘肃,兰州,730000;

兰州物理研究所,甘肃,兰州,730000;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类薄膜的生长、结构和外延;
关键词
薄膜; 结构; 特性; 制备;

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