基于HTCC敏感芯体SnO2薄膜NO2传感器

摘要

采用高温共烧陶瓷(HTCC)技术设计制备半导体气体传感器敏感芯体.敏感芯体分为两层结构:加热层和叉指电极层.运用磁控溅射技术在叉指电极层制备SnO2薄膜敏感层,制成气体传感器.对气体传感器进行测试,结果表明:传感器在300°C工作温度下对NO2表现出优异的气敏性能,可实现(10～200) ×10-6范围内NO2快速响应,100×10-6NO2灵敏度高达32.3,响应/恢复时间为2.2/2.6 s,且传感器一致性较佳.