石墨烯基SnOx-Sn气体传感器灵敏度影响因素研究

摘要

为提高本征石墨烯的气敏特性,将锡和氧化锡薄膜蒸镀在气相沉积法制备的石墨烯表面,制成石墨烯基SnOx-Sn气体传感器,通过原子力显微镜(AFM)、场发射扫描电镜(FESEM)对其表面结构进行表征.并测试了其在室温下对低体积分数甲醛和二氧化氮(NO2)气体的响应特性.研究并分析了膜蒸发速率、基底加热时间、氧气流量对传感器响应灵敏度的影响.