微型柔性剪切应力传感器的制作研究

摘要

利用微机电系统(MEMS)技术,制作了一种新型传感器阵列.首先,在刚性衬底上制作了一种8×8切应力传感器阵列,然后,利用硅岛阵列技术制作了一种柔性结构.试验结果表明:所制作的柔性传感器阵列经多次弯扭循环后,电阻值基本没有变化,柔性传感器在经过弯扭3300次后,传感器本身的柔性材料并没有断.