二维柔性剪切应力传感器及其测量方法

摘要

本发明公开了一种二维柔性剪切应力传感器及其测量方法，属于电子器件技术领域，包括采用热敏材料Ni制成的X向热线和Y向热线，X向热线由第一X向子热线和第二X向子热线组成，Y向热线由第一Y向子热线和第二Y向子热线组成；第一X向子热线、第二X向子热线、第一Y向子热线、第二Y向子热线的两端分别与铜制成的驱动电极耦合；底层衬底上设有铜制成的外接电极，每个驱动电极分别通过铜导线与对应的外接电极连接；表层衬底完全覆盖X向热线、Y向热线和驱动电极，表层衬底不覆盖外接电极。本发明对流场边界层内的流体变化分辨率提高，能够准确的测量高雷诺数条件下流体边界层内的二维剪切应力，并且有利于传感器的阵列化。