MEMS集成滤波器技术

摘要

滤波器是频率转换系统(如,调谐电路、接收器)的基本构成模块.借助于MEMS技术实现的滤波器不仅带来插入损耗、功耗、线性等性能的改善,也有利于将整个通信前端集成到单一芯片上.综述了MEMS可调滤波器的研究进展.与单一利用MEMS电容的调变实现频率可调的滤波器相比,分形可调MEMS滤波技术有更小的插入损耗和更宽的调频范围.