基于RF MEMS技术频段可切换开关带通滤波器

摘要

基于RF MEMS技术设计的开关可切换带通滤波器属于微电子机械系统领域。该基于RF MEMS可切换开关带通滤波器由两个带通滤波器和四个RF MEMS开关组成，当处在同一路的两个开关导通时，信号从该路滤波器通过。利用RF MEMS开关设计的这种类型滤波器具有可集成化特征，若采用PIN或FET开关设计，则难于实现开关滤波器整体封装，难于集成；具有开关高隔离度特征，采用RF MEMS开关在C‑X波段可以实现30dB以上的隔离度；具有结构简单、可靠性高特性，相对于数字可调和模拟可调RF MEMS滤波器，无需考虑开关电容比，设计结构简单，使用开关数量少，可靠性更高。