NiCr薄膜微加热器在低温环境下的电学特性研究

摘要

设计了一种适用于深低温环境的微型加热器.使用AC磁控溅射技术将NiCr (80/20 at.％)合金沉积到SiO2/Si基底上,并采用微加工工艺实现薄膜图形化,作为加热器的加热元件.研究了NiCr薄膜的电学性能和晶体结构与退火条件之间的关系.实验表明:在450℃氮气环境下退火30 min,可以获得深低温性能优良的NiCr加热器.该加热器在20 K时的电阻湿度系数(TCR)为80.80×10-6/K.X射线衍射(XRD)分析显示NiCr薄膜在450℃氮气环境下退火后,薄膜的结晶度增大,因此,退火条件对薄膜的电阻率和电阻温度系数有较大的影响.