仿生湿吸二维微力传感器设计与试验研究

摘要

设计了一种L型的二维微力传感器,该二维微力传感器采用悬臂梁式结构.在弹性力学和材料力学基础上,利用Solidworks三维建模软件和ANSYS仿真软件对传感器分别进行模型建立和有限元应变分析.对该二维微力传感器的实体进行标定,得出了力和输出电压之间的关系.然后,在设计与分析二维微力传感器的基础上,研制了二维微力传感器阵列测试系统.最后,在测试系统实施了不同预压力下的湿吸力测试试验,验证了传感器和系统的可靠性.