晶体组织受控生长的CVDα—Al2O3涂层的沉积、显微结构和特性

摘要

本文研究了晶核形成对CVDAl2O3显微结构和涂层性能的影响。实验用α-Al2O3涂层分别按以下条件沉积：（1）未采用成核控制；②采用成核控制并获得了明确的（102），（104）和（100）生长晶体组织。利用X射线衍射、扫描电镜和透射电镜对实验用涂层的特性进行了分析；对晶体组织受控生长的涂层在车削试验中的耐磨性进行了评估。成核表面的化学特性对于预先设定Al2O3涂层的相结构和生长晶体组织显得至关重要。通过优化成核措施，明显改善了涂层的耐磨性。并且这几种∞-Al2O3涂层典型地由相对较小、无孔隙、无缺陷的晶粒组成。（104）组织结构的α-Al2O3涂层显示出了最佳的耐磨性。