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王宏; 廖克俊;
不详;
等离子体; 立方氮化硼薄膜; CVD法; 薄膜; 生长;
机译:在热灯丝CVD系统中在Si(100)上高质量定向金刚石薄膜的质构生长
机译:HWCVD法生长带隙宽的纳米晶碳化硅薄膜:灯丝温度对结构和光电性能的影响
机译:微波PECVD法合成立方氮化硼薄膜
机译:制备多层立方氮化硼薄膜和类sp(3)氮化硼薄膜的各种制造方法的研究。
机译:射频等离子体增强化学气相沉积(RF PECVD)反应器中样品高度对氮化硅薄膜光学性能和沉积速率的影响
机译:通过射频等离子体辅助化学气相沉积法在晶体硅上生长的高取向六方氮化硼薄膜的微观结构
机译:离子辅助脉冲激光沉积法制备立方氮化硼薄膜的成核与生长
机译:原材料立方晶系氮化硼粉及其生产*立方晶系氮化硼烧结体及其制备粉和立方晶系硼的生长方法
机译:立方氮化硼薄膜和立方氮化硼薄膜的制造方法
机译:具有减小的残余压缩应力的制造立方氮化硼薄膜的方法和由此制造的立方氮化硼薄膜
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