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浅谈改良西门子法生产多晶硅工艺及其质量控制

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改良西门子法是目前国内外生产多晶硅最为成熟、应用最为广泛的主流技术,阐述了多晶硅生产的多种工艺,重点介绍了改良西门子法生产多晶硅的工艺发展、特点、工艺流程,并针对各单元的质量控制点进行了简单分析.

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来源
《商品与质量》 |2020年第42期|12|共1页
作者
王亚东; 李闻娇;
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作者单位

青海黄河水电新能源分公司青海西宁 810007;

青海黄河水电新能源分公司青海西宁 810007;

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正文语种 chi
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关键词
改良西门子法; 多晶硅; 质量;

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