改良西门子法生产多晶硅工艺的物料平衡

摘要

改良西门子法生产多晶硅的过程中,主要的物料包括:氢气、 三氯氢硅、 硅粉、 四氯化硅、 二氯二氢硅及氯化氢等.这些物料存在一定的平衡关系,其本质是元素的质量守恒定律.在一个独立的反应系统中,无论各种物质发生何种化学和物理的变化,其所含的各种元素的量是固定不变的,本文依据物料的平衡关系对我公司生产过程中的物料平衡进行了分析,通过降低关键节点的物料损耗,节约生产成本,保障生产高效平稳运行.