声明
第1章 文献综述
1.1 引言
1.2 多晶硅行业发展现状
1.2.1 多晶硅行业介绍
1.2.2 多晶硅行业国内国际战略地位
1.2.3 多晶硅行业发展现状
1.3 多晶硅行业发展中遇到的环境问题
1.3.1 多晶硅发展环境舆论
1.3.2 国内多晶硅企业面临的环保问题和做法
1.4 国家对多晶硅行业相关环保政策与要求
1.5 本课题的研究意义与内容
1.5.1 研究意义
1.5.2 研究内容
第2章 改良西门子法多晶硅生产主工艺概况
2.1 SiHCl3提纯工艺
2.2 多晶硅还原工艺
2.3 还原尾气干法回收工艺
2.4 SiCl4氢化工艺
第3章 改良西门子法多晶硅生产环保工艺研究
3.1 生产过程物料综合回收方案研究
3.1.1 尾气深冷回收方案研究
3.1.2 残液回收方案研究
3.1.3 尾气中和处理方案研究
3.2 副产物SiCl4综合利用优选方案研究
3.2.1 SiCl4低温氢化方案研究
3.2.2 气相二氧化硅制备方案研究
3.2.3 高纯光纤SiCl4方案研究
3.3 特征污染因子氯化物的有效去除装置研究
3.3.1 技术方案
3.3.2 主体设备
3.3.3 主要工艺流程
3.3.4 运行情况分析
3.3.5 效益分析
3.4 多晶硅生产的环保风险防控
3.4.1 风险因素分析
3.4.2 环境风险预防措施和应急措施
第4章 结论
参考文献
发表论文和参加科研情况说明
致谢