多晶硅生产中废气处理工艺改造

摘要

针对多晶硅生产中碱液淋洗法废气处理工艺存在的问题,对其进行改造.增设2台备用塔——C塔和D塔。当多晶硅生产系统正常稳定运行时，开启A塔和B塔即可;当多晶硅生产系统不稳定，且废气量剧增时，增开C塔和D塔。增设1套冷凝分离装置。来自精馏工序、还原工序、CDI工序、氢化工序及其他工序的废气汇总后进入冷凝分离装置，控制其压力在0.3~0.5 MPa温度约-40℃，使氯硅烷(SiHCl3,SiCl4和SiH2Cl2)冷凝为液体并回收利用，而H2,N2,HCl和极少量残留的氯硅烷气体直接进入A塔和C塔内喷淋。出于安全考虑，在A塔和C塔的顶部分别增设N:管道，并通入0.3~0.5 MPa的保护N2避免空气进入塔内与SiHCl3,SiH2Cl2,H2接触。为了彻底解决原工艺中时常发生着火和爆炸的安全问题，增加1套水封装置和1根长约15 m的曲管。从B塔和D塔出来的H2,N2、残留HCl和少量H2O(水蒸汽)通过放空管进入曲管，并通过水封装置对曲管进行冷却，然后将气体排入水封装置内除掉残留HCl,H2,N2和少量H2O(水蒸汽)再经鼓泡后直接放空。改造后,废气中约有92.1％的氯硅烷被回收利用,碱液的月平均消耗量减少约500t;放空气体中有毒有害成分的质量分数由17.6％降至0.08％;着火和爆炸事故等安全问题已彻底消除,生产系统的稳定性得到改善,多晶硅的月均产量和产品合格率分别提高约13.8％和4.7％.