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目录
0前言
1 文献综述
1.1 多晶硅的性质和应用
1.2 多晶硅生产工艺概况
1.3 改良西门子工艺中的技术改进
1.4 化工过程模拟
1.5 本文主要研究内容
2 多晶硅生产过程模拟方法的研究
2.1 多晶硅生产过程模拟流程
2.2 多晶硅生产过程模拟的基本思想
2.3 反应系统模拟
2.4 分离系统模拟
2.5 单塔参数的优化分析
2.6 本章小结
3 反应系统工况分析
3.1 引言
3.2 反应系统的平衡性分析
3.3 反应系统再平衡方案
3.4 本章小结
4 结论
参考文献
致谢
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