改良西门子法多晶硅还原炉尾气经回收循环再利用后生产制造多晶硅的方法

摘要

改良西门子法多晶硅还原炉尾气经回收循环再利用后生产制造多晶硅的方法，涉及改良西门子法生产多晶硅的方法。本发明解决现有改良西门子法多晶硅生产条件受热力学的限制，存在能耗高、转换效率低、生产成本高的问题。方法：将多台多晶硅还原炉设备串联在一起，每个多晶硅还原炉设备的出口利用管路连接下一个多晶硅还原炉设备的入口，依次连接，通入原料气体，在硅芯表面发生还原反应，形成多晶硅棒。或将多台多晶硅还原炉设备串联在一起，每个多晶硅还原炉设备的出口利用管路连接下一个多晶硅还原炉设备的入口，依次连接，利用补料管路分别连接每个多晶硅还原炉设备的入口，得到串联设备，通入原料气体，在硅芯表面发生还原反应，形成多晶硅棒。