多晶硅还原炉尾气防护罩、多晶硅还原炉及多晶硅生产系统

摘要

本实用新型属于多晶硅的生产设备技术领域，涉及多晶硅还原炉尾气防护罩、多晶硅还原炉及多晶硅生产系统。本实用新型的多晶硅还原炉尾气防护罩，包括圆柱形侧壁，所述圆柱形侧壁的顶端连接封闭的顶盖，所述圆柱形侧壁的低端连接尾气出气口；所述圆柱形侧壁上开设有多个周向均布的排气通孔；所述防护罩为碳－碳复合材料防护罩。本实用新型能够有效防止硅块进入尾气管线，避免尾气管线堵塞，又能保证还原炉尾气的正常流通，大大减小清理尾气管线的工作量。