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多晶硅生产用还原炉高压启动装置的研制

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摘要

介绍了一种用于多晶硅生产用的还原炉高压启动装置.该装置能够实时检测硅芯中的电流和其变化趋势,自动调整施加在硅芯上的电压,从而实现多晶硅生产中高压启动和预加热阶段的自动化控制,并最终实现与中压加热设备的可靠衔接.

著录项

来源
《东方电气评论》 |2010年第2期|67-70|共4页
作者
雷凯; 熊向杰;
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作者单位

东方电气自动控制工程有限公司,四川,德阳,618000;

东方电气自动控制工程有限公司,四川,德阳,618000;

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正文语种 chi
中图分类微电机;
关键词
多晶硅; 还原炉; 高压启动;

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