基于改良西门子法的多晶硅生产方法及多晶硅生产设备

摘要

本发明公开了基于改良西门子法的多晶硅生产方法及多晶硅生产设备，属于多晶硅生产技术领域，解决了参与还原反应三氯氢硅的纯度低，影响三氯氢硅的一次转化率并导致多晶硅的生产成本高的问题。本发明的主要技术方案为：一种基于改良西门子法的多晶硅生产方法，包括：步骤1，三氯氢硅还原沉积得到多晶硅，排出尾气；步骤2，尾气经多级冷凝得到不凝气和冷凝液，不凝气进入吸收塔，吸收塔吸收不凝气中的HCL并流出氯硅烷富液；冷凝液与氯硅烷富液混合后进入解析塔；步骤3，解析塔流出的氯硅烷贫液至少一部分发生反歧化反应，使氯硅烷贫液中的二氯二氢硅的质量百分含量降低；步骤4，反应后的氯硅烷贫液进入精馏塔；精馏塔产物进入还原炉。