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溅射靶材综述

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本文主要对各领域应用的溅射靶材及其制备方法,并对薄膜镀膜方法和其应用领域作了介绍.

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来源
《上海钢研》 |2002年第4期|30-41|共12页
作者
张青来; 贺继弘;
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作者单位

上海钢铁研究所;

上海钢铁研究所;

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正文语种 chi
中图分类金属学与热处理;
关键词
溅射; 靶材; 薄膜;

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