旭硝子新型スパッタターゲット材有機EL向けに量産

摘要

旭硝子㈱(東京都千代田区丸の内1-5-1、03-3218-5741)は、大型有機ELパネル向けに新型のスパッタリングターゲット材の商業牛産を開始した。東京工契学の細野秀雄教授の研究グループが開発した「C12A7 エレクトライド」を活用して均一な非結晶薄膜を開発し、これを工業化する。C12A7はアルミナセメントの構成成分の1つで、内径0.4nm程度の襲の骨格が面を共有してつながった構造を持つ。この籠に酸素イオンが含まれており、これをすベて電子に交換することで、化学的にも熱的にも安定かつ容易に扱えるC12A7 エレクトライドを開発した。