粉末溅射SnO2／SnO2：Pt双层膜对CO的气敏特性

摘要

本文介绍了一种新型结构ＣＯ敏的半导体薄膜材料－粉末溅射方法制备的表面层掺杂ＳｎＯ２／ＳｎＯ２：Ｐｔ双层膜的气敏特性。分析了双层膜中的导电层厚度对气敏特性的影响，并对气敏机是的有关问题进行了讨论。