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粉末溅射平面薄膜型SnO2/CeO2酒敏元件

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本文研究粉末溅射平面薄膜型SnO2/CeO2酒敏元件，介绍了用粉末溅射做出的两种平面薄膜型酒敏元件的工艺、芯片结构和基本参数测试的结果。

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来源
《第十一届全国湿度与水分测量技术学术交流会暨第九届全国气湿敏传感技术学术交流会》|2006年|71-74|共4页
会议地点成都
作者
刘晓健; 曲鲁; 李东华; 卫东; 裘南畹;
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作者单位

中国仪器仪表学会;

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TH703.26;TP212.2;
关键词
粉末溅射; 薄膜型; 酒敏元件工艺; 芯片结构; 酒气测试; 传感器;

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