粉末溅射SnO_2/CeO_2薄膜酒敏元件

摘要

介绍粉末溅射 Sn O2 / Ce O2 酒敏薄膜特性的研究和气敏元件气敏层参数的设计 .介绍元件热功耗的规律 ,反应温度的规律 ,测试电压对灵敏度的影响的规律 .讨论了用相对灵敏度消除湿度影响的设想 ,以及对低功耗元件 。