粉末溅射SnO_2/CeO_2薄膜气敏元件的性能

摘要

通过对粉末溅射SnO2/CeO2薄膜气敏元件性能的测试和探讨，总结出反应升温 Δtrea与气体浓度C存在关系Δtrea=(ACn)/(1+BCm) (其 中A ,B＞0,n＞m＞0)，同时发现:湿度对灵敏度的影响很大而对相对灵敏度影响不大；为确保 测量的可靠性应避免用于测量高浓度气体，同时注意稳定测试电压，如用相对灵敏度进行测 量，则可以减小湿度对测量结果(测量值)