粉末溅射SnO<,2>/CeO<,2>薄膜气敏元件的性能

摘要

通过对粉末溅射SnO<,2>/CeO<,2>薄膜气敏元件性能的测试和探讨，总结出反应升温 △trea与气体浓度C存在关系△trea=(AC<'m)/(1+BC<'m>(其中A,B〉0,n〉m〉0)，同时发现 ：湿度对灵敏度的影响很大而对相对灵敏度影响不大；为确保测量的可靠性应避免用于测量高浓度气体，同时注意稳定测试电压，利用相对灵敏度进行测量，则可以减小温度对测量结果(测量值)的干扰。