IMEC开发出新的RF MEMS开关结构

摘要

正 国际微电子学中心(IMEC)开发出一种新的RF-MEMS开关结构,该开关结构的隔离性能和插入性能可独立优化。与一般RF-MEMS电容开关相比,这种开关的性能有明显提高。上述高性能RF-MEMS电容开关在无线通信应用方面比GaAs MMIC开关和PIN二极管开关具有很大的潜在优势。RF-MEMS开关设计样品的损耗低(0.4dB)、隔离好(20dB)、功耗低、线性好、体积小、集成度高。