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固支梁结构的电容式RF MEMS 开关的机电耦合模拟

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用ANSYS 有限元分析软件对RF MEMS 开关的三种基本固支梁结构模型进行了机电耦合模拟.通过对开关进行一系列的静态、谐振态、模态以及瞬态分析,讨论了采用不同桥膜结构的开关的激励电压、固有频率,阻尼Q 因子、开关时间的变化.并结合基本结构的分析数据设计了一种曲臂折合式的桥膜结构,从理论上验证了此结构在同等框架体积下,具有更低的模拟下拉电压、共振频率,开关时间,以及更稳定的工作模态.

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来源
《第九届全国振动理论及应用学术会议暨中国振动工程学会成立20周年庆祝大会》|2007年|2450-2456|共7页
会议地点杭州
作者
刘肖; 伞海生; 陈旭远;
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作者单位

中国振动工程学会;

中国力学学会;

中国航空学会;

中国机械工程学会;

中国宇航学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类工程振动学;
关键词
机电耦合; 力电耦合; 固支梁; 有限元分析; 桥膜结构; 激励电压; 固有频率; 共振频率;

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