芯片制造三巨头的次世代光刻技术战略对比分析

沈熙磊

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正台积电与Globalfoundries是一对芯片代工行业的死对头,不过他们对付彼此的战略手段则各有不同。举例而言,在提供的产品方面,Globalfoundries在28nm制程仅提供HKMG工艺的代工服务(至少从对外公布的路线图上看是这样),而相比之下,台积电的28 nm制程则有HKMG和传统的多晶硅栅+SION

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来源
《半导体信息》 |2011年第2期|P.25-27|共3页
作者
沈熙磊;
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作者单位

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类电子工业;
关键词
芯片制造; 光刻技术; 次世代; 硅栅; 掩模; 电子束光刻; 对比分析; 林本; 推进者; 研究力量;

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