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王伟;
浙江大学光电科学与工程学院 浙江杭州310027;
微纳加工; 聚焦离子束; 石英; 通孔; 硅基盖板;
机译:Ga_2中通孔的高刻蚀速率选择性刻蚀的电感耦合Cl_2 / BCl_3等离子体工艺研究
机译:通过结合反应离子束刻蚀和动态化学刻蚀来无痕地减轻熔融石英表面上的激光损伤前体
机译:基于复合通孔耦合贴片频率选择性表面的“圆形到线性极化转换器”
机译:利用双层刻蚀掩模调制深蚀石英表面形状的干法刻蚀方法
机译:在使用Langmuir探针和光发射光谱法的深反应离子刻蚀系统中,等离子体表征和刻蚀速率以及通孔侧壁角度相关。
机译:双酸刻蚀与化学修饰的亲水性双酸刻蚀植入物表面的界面生物力学特性:在Beagles中进行的实验研究
机译:硅中通孔形成的反应离子刻蚀参数的优化
机译:湿法刻蚀处理对激光诱导熔融石英表面损伤的影响
机译:掺杂石英表面的等离子刻蚀设备
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