基于PLC的真空镀膜机控制系统改造

摘要

为克服传统的化学气相镀膜机电气控制缺点,开发了一套基于可编程控制器的化学气相沉积镀膜机控制系统.描述了该镀膜机控制系统的硬件结构和软件功能.对气体流量、基片温度及开关量的控制效果进行了大量的实验研究.结果表明:基片温度控制精度达到±1℃、工作(反应)气体的流量控制精度达到10mL、可以进行精确的开关量控制.应用表明:该控制系统可以实时监控并保证镀膜机的可靠运行.