真空镀膜机用气管及真空镀膜机

摘要

本实用新型公开了一种真空镀膜机用气管及真空镀膜机。真空镀膜机用气管，包括气管本体，气管本体为管状结构，气管本体上气孔，气孔沿着气管本体的轴线方向排布；气管本体的第一端通过板体封闭，气管本体的第二端为开口端，从气管本体的开口端到封闭端，气孔的截面积依次增加。真空镀膜机，包括真空镀膜机用气管，真空腔室，真空腔室的底板的相对位置处开设有两个安装孔，真空镀膜机用气管的连接管与安装孔连接，两根真空镀膜机用气管的气孔的出气方向相反。本实用新型的真空镀膜机用气管内的工作气体通过气孔进入真空腔室内，可以使得真空腔室内的工作气体更加均匀。